芯碁微装（688630），全称合肥芯碁微电子装备股份有限公司（Circuit Fabology Microelectronics Equipment Co., Ltd.），主营业务为以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务。，位于安徽合肥市，董事长为程卓，总经理为方林。网址为www.cfmee.cn。
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| 报表日期 | 未分配利润 |
|---|---|
| 20221231 | 292,019,428.82 |
| 20211231 | 193,273,964.40 |
| 20201231 | 97,746,147.79 |
| 20191231 | 33,615,075.52 |
| 20181231 | -536,124.92 |
| 20171231 | -17,828,783.10 |