芯碁微装（688630），全称合肥芯碁微电子装备股份有限公司（Circuit Fabology Microelectronics Equipment Co., Ltd.），主营业务为以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务。，位于安徽合肥市，董事长为程卓，总经理为方林。网址为www.cfmee.cn。
《芯碁微电子装备股份有限公司：以微纳直写光刻技术的实现者》芯碁微电子装备股份有限公司（Circuit Fabology Microelectronics Equipment Co., Ltd.）位于安徽合肥市，董事长程卓，总经理方林，主要以微纳直写光刻技术为技术核心，进行直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售及相关维保服务。从2017年到2022年，芯碁微电子装备股份有限公司所有者权益(或股东权益)合计显著增长，表明芯碁微电子公司取得了卓越的业绩。单报2012年和2021年区间最明显，期间所有者权益(或股东权益)合计从1.12亿增长至10.49亿。这反映出公司的快速发展和巨大增长，在微纳直写光刻技术领域取得的突破性成果。因此，芯碁微电子装备股份有限公司已成为微纳直写光刻技术实现者。除了从事有几年历史的设备制造业务之外，公司也在努力投入更多资源，以通过专业设备制造和解决方案，为未来的技术发展作出贡献。
| 报表日期 | 所有者权益(或股东权益)合计 |
|---|---|
| 20221231 | 1,049,104,818.57 |
| 20211231 | 931,109,907.23 |
| 20201231 | 408,594,422.41 |
| 20191231 | 337,333,078.27 |
| 20181231 | 112,648,666.74 |
| 20171231 | 39,383,508.56 |